【特征形态】气态【介质基体】【主要用途】校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他【保存条件】【注意事项】【分析方法】标准值相对不确定度(%)单位氧20～1003.0物质的量分数(10-6)氮15～1004.0物质的量分数(10-6)四氟化碳15～1003.0物质的量分数(10-6)八氟化三碳15～1003.0物质的量分数(10-6)硫酰氟15～1003.0物质的量分数(10-6)